香江的天气已经开始慢慢变凉。

    此时已是华夏阳历9月末🎃🎘下🇛🙌旬,华夏传统佳节中秋才是刚过。

    经过四个多月的奋战,香江积体电🆨💆路制造有限公司新升级扩建的厂房内,1.2微米的芯🆺🔫🃡片线设备已经部安装完毕,整个生产线的升级改造工期虽然接近尾声,但是生产线设备的调试却依旧在密锣紧鼓进行中,场面热火😖🁕朝天。

    这四个月,余子贤也是来回往返于曰本和香江,协调各项示意。🉨🉲

    此时,香积电生产线升级改造负责人曹飞副总经理和技术研发中心🍤(实验室规模已🜏经升级)主任蔡俊杰带着余子贤和鹿岛智树、还有蔡俊杰的导师麻生俊一等人参观即将升级完毕的厂房和生产线设备。

    芯片制造厂房可以分为6个🇛🙌独立的厂区🍖🈄🍖🈄,每一区都包括数种晶圆制程相关设备。

    在这一次的生产厂房扩建中,按照生产工艺工序流程,对每个区所需要的制程步骤开出设备规格,⚍🐇♔然后进行生产线自动化系统上线、设备装机、制程调整和整合等工作,确认个产品的良率能够顺利达到要求。

    一个集体电路的制造需要数百道的步骤,便是在这6个厂区🏶🞩中循环往复,多层建构而成,将MOS原件和电路设🁰计的导线如盖房子一样,分层堆叠在晶圆上。每道制程中的量产规格,包括量测数据和相关制程参数设定,是采购和验收设备的标准,也是每一家芯片大厂商的专利及核心技术的组成部分,而制程技术的实现则是需要通过购买的实现。

    而此时的香积电已经基本掌握1.2微米芯片大🅗规模制造工艺工序流程,包括其☕中的核🝔🊻🕝心技术以及专利。

    正在参观光刻区域🉊跟随参观的余子贤,却突⛍🙅然被穿着洁净服的人拦住,余子贤定眼一看,却发现🂱💦是程渡。

    “余总,佟若愚从曰本打来电话,🆨💆现📋🙐在遇到了一些麻烦!🛔”

    “麻烦?什么麻烦?”此时的香积电生产线改造以及接近尾声,目前剩下的主要工作就是对🐓⛇设备的最后调试。

    因⚨为🂧👏🇴有大量厂家技术员的帮忙联合调试设备,余子贤现在很有信心,在生产线启动就可以实现30%的良率。

    尤其是A🍩🊳🔖SML派遣了好几个专家级的设备工程师到厂指导,甚至派了一个光刻工艺工程师常驻香积电,就为了香积电光刻厂区以及设备的正常投运。

    光刻是整个集成电路制造过程中耗时📋🙐最长、难度最大的工艺,耗时占🃁芯片制造50%左右,成本约占芯片生产成本的1/3。

    所以,此时ASML☙⛘的积极参与对于香积电生产线及时高良率投运的重要性不言而喻。